原标题：科工力量：凭借一国之力能搞出光刻机吗？

[文/科工力量柳叶刀陈辰]上期节目我们聊了国产芯片，一个很大的难点，就是光刻机。美国一直阻止荷兰设备商ASML对华出口极紫外光刻机，也就是EUV，这种做法就是典型的将商业问题政治化。ASML如果遵守美国禁令，不仅意味着经济损失，也有可能失去全球最大的市场。

光刻机有高端的，也有低端的，像EUV就是高端的，它可以制造7nm以下的芯片。美国的禁令是，高端设备不准卖给中国，极紫外光刻机属于管制范围。《中国制造2025》曾将这种光刻机列为重点突破领域，并计划在2030年实现国产化。

为了不让荷兰将最先进的光刻机卖给中国，白宫可是操碎了心。他们多次向荷兰施压，阻止最先进的光刻机出口中国。2018年5月，中芯国际向ASML订购了一台EUV光刻机，价值1.5亿美元，计划2019年交付。结果被美国盯上了，接下来几个月里，美荷双方连续开了四场会议，讨论直接封杀这笔交易的可能性。当时，美国的出口条例已经修改，外国公司出售给中国商品，如果含有超过25%的美国技术，就必须得到美国政府的允许。

企业都是以盈利为目的，ASML公司本身也想推动这笔交易。2018年，该公司在中国的营收占到销售总额的20%，超过在美国的16%。去年6月，蓬佩奥访问荷兰，要求首相吕特阻止对华出口先进的光刻机。吕特的回应是，虽然荷兰想要与盟国保持政策一致，但“每个国家都必须做出自己的安全决定”。后来，他访问华盛顿，白宫官员向他展示了一份情报，内容是“中国获得光刻机可能带来的后果”。吕特回国后，荷兰政府立刻禁止ASML对华交易。

半导体产业70年历史中，光刻技术的改进，不断推动芯片制程的升级。在集成电路出现之前，电子器件靠手工连接。二战时，美国的航空母舰有35万个电子设备，需要上千万个焊接点，这导致维护工作繁琐，很容易出现设备短路失灵。为了保证复杂的电路稳定工作，贝尔实验室想出了一个办法，将这些的电路集成在指甲盖大小的硅片上，怎么实现呢？受到投影仪和照相机的启发，他们将设计好的电路投射到硅片上，以光为刀，按照硅片上的阴影，雕刻电路。这就是光刻机的原型。贝尔实验室手握很多专利，光刻技术就是其中之一。为了让更多的企业受益，美国政府以反垄断法威胁，逼迫贝尔实验室释放技术，后来的美国半导体巨头，就是这样培养起来的。像GCA、Perkin Elmer等公司，获得光刻技术后，马上推出自己的光刻机产品，占据市场主导地位。

可到了80年代，一切都变了。日本超越美国，成为半导体第一大国。全球前10大半导体公司，日本占了6家，而且前三名都是日本企业。当时，日立、东芝、富士通的产品，成为“高质量”的代名词，良品率远高于英特尔、德州仪器。佳能、尼康研制的光刻机，占据近一半市场份额，IBM、AMD几乎是堵在它们生产线门口，等着产品下线抢购，就跟我们今天急切等待EUV光刻机交货一样。

日本的半导体产品疯狂涌入美国，美国公司的市场份额直线下降，英特尔甚至准备放弃抵抗，宣布破产。白宫一看，照这样下去，整个硅谷都会被日本碾压。开始采取反制措施，一是，对外祭出关税大棒，对日本的半导体征收高额惩罚性关税，限制其出口。二是，对内组建半导体制造技术联盟Sematech，英文名是“ Semiconductor Manufacturing Technology”。该组织由美国14家半导体龙头企业组成，包括英特尔、IBM、美光、惠普、摩托罗拉等。

联盟中的成员都是各家公司最优秀的研发人员，他们在这里的工作，并不是研究具体的半导体技术，而是开发最先进的半导体设备。因为该组织通过前期细致的调研发现，设备是芯片制造的基础。如何改进制造流程、更好的使用设备，相当于现在台积电和中芯国际所做的业务，只有垄断设备制造，才有更强的议价权利。Sematech总体上非常成功，1995年，美国半导体产业全面恢复国际竞争力，特别是半导体设备制造领域，美国的地位至今无人可以撼动。Sematech是产业界发起的，美国政府参与运营和管理，国防部还专门为其设置专项经费，每年1亿美元。